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具有导电凸块的覆晶基板及其导电凸块的制造方法

摘要

一种具有导电凸块的覆晶基板及其导电凸块的制造方法,包含下列步骤:提供一覆晶基板,其表面具有多数导电点;于覆晶基板表面覆盖导电薄膜;在导电薄膜表面形成光阻层;图案化光阻层,于覆晶基板表面上形成多数开口,露出其下的多数导电点;进行铜电镀,以填满多数开口,而形成多数铜凸块;移除光阻层与导电薄膜;于基板表面形成防焊保护层,并露出多数铜凸块;对露出的多数铜凸块进行表面防氧化处理。具有简化封装基板上的凸块制程的功效。

著录项

  • 公开/公告号CN1492491A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2004-04-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 矽统科技股份有限公司;

    申请/专利号CN02146294.1

  • 发明设计人 谢翰坤;林蔚峰;

    申请日2002-10-21

  • 分类号H01L21/48;H01L21/60;H01L21/28;H05K3/00;

  • 代理机构北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人刘朝华

  • 地址 台湾省新竹科学园区

  • 入库时间 2023-12-17 15:18:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2010-01-13

    发明专利申请公布后的驳回

    发明专利申请公布后的驳回

  • 2004-06-30

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2004-04-28

    公开

    公开

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