铝酸锂和镓酸锂晶体的生长方法

摘要

一种铝酸锂和镓酸锂晶体的生长方法，其特点是采用碳酸锂(Li2CO3)和氧化铝(Al2O3)或氧化镓(Ga2O3)为原料，按照一定比例配料，压制成块，直接装入坩埚，坩埚密封后置于钟罩式真空电阻炉内，用垂直温梯法生长晶体。原料中采用碳酸锂(Li2CO3)，使得密封坩埚内是含CO2和O2的局部氧化气氛，这样既避免了炉内氧化气氛对发热体和保温材料的氧化污染，又有效克服了熔体组分因为还原气氛而挥发的问题，可以生长出作为InN－GaN基蓝光衬底的大面积的铝酸锂和镓酸锂晶体。