测量细长元件中凹槽的几何形状的方法

摘要

本发明涉及测量细长元件中凹槽的几何形状的方法和装置,该凹槽(2)作为连续的凹槽在细长元件(1)的整个长度上延伸,并围绕该元件盘旋,在该方法中细长元件的表面被用摄象机(6)扫描。为了实现简单的非接触测量,该细长元件(1)被安排在顶点通过一环形双锥反射镜或包括若干平面反射镜的双锥斜面反射镜(3)而移动,并通过一与细长元件(1)的移动方向成一倾斜角安置的平面反射镜结构(4)。一环形激光束以这样的方式射向该平面镜结构,以使平面镜结构(4)将该光束通过双锥镜或斜锥镜的外部表面(3a)反射到细长元件(1)的表面上。通过双锥镜或斜锥镜(3)的内部表面(3b)从细长元件(1)的表面产生的细长元件(1)的表面轮廓的象,被借助于平面镜结构(4)转向一边,以允许研究凹槽的几何形状。