使用毛细管电极放电等离子体簇射的等离子体处理装置

摘要

本发明公开了一种用于工件的等离子体处理装置,包括:金属电极(11);具有第一和第二侧并通过第一侧与金属电极结合的毛细管介电电极(12),其中毛细管介电电极具有至少一个毛细管;包围金属电极和毛细管介电电极第一侧的屏蔽体(13),其中,屏蔽体具有第一和第二端部;以及向金属电极(11)提供气体的气体供给装置(14)。