公开/公告号CN1364313A
专利类型发明专利
公开/公告日2002-08-14
原文格式PDF
申请/专利权人 塞姆特里克斯公司;松下电器产业株式会社;
申请/专利号CN01800486.5
申请日2001-02-07
分类号H01L27/11;C30B29/68;
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人蹇炜
地址 美国科罗拉多
入库时间 2023-12-17 14:23:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2004-09-08
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2002-08-14
公开
公开
2002-07-24
实质审查的生效
实质审查的生效
机译: 包括惰性气体退火以制造分层的超晶格材料的电子器件的制造方法以及使用低温预处理的方法和分层的超晶格材料
机译: 使用非反应气体退火和低温预处理的方法来制造层状超晶格材料并制造包括该层状超晶格材料的电子器件的方法
机译: 低温快速脉冲退火方法,用于制造层状超晶格材料并制造包括该材料的电子器件