首页> 中国专利> 包含新的光活性化合物的正性光刻胶

包含新的光活性化合物的正性光刻胶

摘要

本发明的正性光刻胶组合物包含一种减溶性树脂、具有以下结构(Ⅰ)的光活性化合物:其中,X为O、S或N-R’,其中R’为H、烷基、取代烷基、芳基或芳烷基,Y为连接基团,如SO

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2005-09-07

    发明专利申请公布后的视为撤回

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2000-06-14

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

  • 2000-04-05

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号