硅块的品质判定方法、硅块的品质判定程序及单晶硅的制造方法

摘要

一种硅块的品质判定方法，其判定从利用提拉法提拉的单晶硅中切出的多个硅块的品质，在该硅块的品质判定方法中执行：取得从多个硅块各自的端部切出的样品晶片的品质评价结果的步骤(S2)；取得单晶硅的提拉实际数据的步骤(S3)；根据各样品晶片的品质评价结果，设定各硅块的提拉管理范围的步骤(S6、S7)；以及对照所取得的提拉实际数据和所设定的提拉管理范围，判定各硅块的品质的步骤(S8、S9)。