公开/公告号CN111133128A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-08
原文格式PDF
申请/专利权人 TES股份有限公司;
申请/专利号CN201880058624.5
申请日2018-09-21
分类号
代理机构北京钲霖知识产权代理有限公司;
代理人李英艳
地址 韩国京畿道
入库时间 2023-12-17 11:53:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-02
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/458 申请日:20180921
实质审查的生效
2020-05-08
公开
公开
机译: 基座布置,MOCVD装置包括这一点,以及从MOCVD设备卸载上部基座的控制程序
机译: 基座装置以及具备该基座装置的成膜装置
机译: 使用相同的MOCVD基座组件和MOCVD装置