用于透射电子显微镜的电子束生成

摘要

一方面，本发明提供了一种在透射电子显微镜设备中产生电子束的方法。该方法包括：通过脉冲电子源[300]产生电子脉冲[306]，在第一谐振微波空腔[302]中加速所述电子脉冲，使加速的电子脉冲穿过漂移空间[314]，以及通过操作第二谐振微波空腔与所述第一谐振空腔[302]异相90度来在所述第二谐振微波空腔[304]中校正加速的电子脉冲的能量扩展。