消除在电子束分离器中的热诱导束漂移的方法

摘要

这些电子束分离器设计解决电子光学系统中的热诱导束漂移。缠绕于束分离器单元周围的加热器线圈可维持恒定功率。额外线圈还可以双线方式缠绕于所述束分离器周围，这可在所述束分离器线圈中维持恒定功率。可确定维恩功率，且接着可确定加热器线圈电流。