具有多面梳状电极的双轴微机电致动器

摘要

一种具有多面梳状电极的双轴微机电致动器，包含：一第一半导体层其包含一具有梳状电极的可动件、一具有内梳状电极与外梳状电极的承载件及一具有梳状电极的固定件；一电性绝缘层；及一第二半导体层其设具有一腔体供该可动件及承载件作平面外转动。该承载件的内梳状电极与该可动件的梳状电极交错排列以及该承载件的外梳状电极与该固定件的梳状电极交错排列在由第一半导体层所界定的同一平面上以形成一水平梳状电极驱动致动器。该第二半导体层可还包含梳状电极用以与承载件的外梳状电极垂直地交错排列以形成一垂直梳状电极驱动致动器。结合该水平梳状电极驱动及垂直梳状电极驱动致动器，该可动件即能控制以进行双轴的光栅型式扫描运动。