一种铸锭单晶用底部高纯度免喷涂层制备方法

摘要

一种铸锭单晶用底部高纯度免喷涂层制备方法，将熔融石英颗粒和去离子水置于球磨机中磨制，取出后置于分散机中，再加入硅溶胶、熔融石英粉料、熔融石英粉料、高纯陶瓷粘结剂搅拌后形成浆料A；将熔融石英颗粒、去离子水置于球磨机中磨制，取出后置于搅拌机中，再加入硅溶胶、熔融石英粉料搅拌形成浆料B；将熔融石英颗粒、结晶态石英置于球磨机中磨制，取出后将石英浆料、硅溶胶、粘结剂和水混合后形成浆料C；将氮化硅、去离子水置于搅拌机中，再加入氮化硅助烧剂、硅溶胶、高纯粘结剂充分搅拌后形成浆料D；依次制作底部衬平层、粗糙疏松层、石英致密隔离层和氮化硅致密隔离层。该方法可以有效降低铸锭单晶底部红区，并可降低位错等缺陷的增殖。