用于晶圆检查的高级充电控制器的方法和设备

摘要

提供了一种用于光束的高级充电控制的系统和方法。该系统包括：激光源，包括用于发射束的激光二极管；以及束均匀器，用于均匀所发射的束。系统和方法还包括：束成形器，被配置为使用变形棱镜组对发射的束进行整形；以及驱动器，被配置为将成形的束引导到晶圆上的指定位置，其中激光源、束成形器和驱动器同轴对准。