采用激光干涉光刻技术制作无调制阵列结构的方法及系统

摘要

本发明实施例公开了一种采用激光干涉光刻技术制作无调制阵列结构的系统及相应的方法。该系统利用激光作为发光光源，通过整形、准直、分束形成三束相干光束，这三束相干光束在基片平面汇聚、干涉，使得光强在干涉场内重新分布，从而很容易获得大小一致、分布均匀的周期性结构，在制作过程中无调制出现，这种周期性图形结构可广泛应用于功能性表面及器件等领域。