一种特种离子注入机自动引束的方法

摘要

本发明涉及一种用于特种离子注入机的引束功能。本发明提供了一种自动引束的方法，该自动引束的方法具有调束成功率高的特点。该自动引束方法适用于特种离子注入机，程序稳定性高，与手动引束相比，提高了效率，减少了工作量。