金刚石和形成金刚石的异质外延方法

摘要

形成多个金刚石的方法提供基底，在基底上外延形成第一牺牲层，然后在第一牺牲层上外延形成第一金刚石层。第一牺牲层具有第一材料组成，并且第一金刚石层是与第一材料组成不同的材料。然后，该方法在第一金刚石层上外延形成第二牺牲层，并在第二牺牲层上外延形成第二金刚石层。第二牺牲层具有第一材料组成。基底、第一牺牲层和第二牺牲层以及第一金刚石层和第二金刚石层形成异质外延超晶格。