公开/公告号CN110914760A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-24
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社尼康;
申请/专利号CN201880030036.0
申请日2018-05-09
分类号G03F7/20(20060101);G02B17/06(20060101);G21K1/06(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人胡林岭
地址 日本东京都港区港南二丁目15番3号
入库时间 2023-12-17 08:08:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20180509
实质审查的生效
2020-03-24
公开
公开
机译: 一维图案弯曲的照明系统,用于EUV曝光工具
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