旭硝子供給体制を大幅増強EUV露光用フォトマスク原盤

摘要

AGC旭硝子はEUV(極端紫外線)露光用フォトマスクブランクス(原盤)の供給体制をグループ会社であるAGCエレクトロニクス(福島県郡山市、落合克成社長)において、今年から大幅に増強する。