对准晶片的方法、接合晶片的方法以及对准晶片的装置

摘要

提供了一种对准晶片的方法、接合晶片的方法以及对准晶片的装置。在对准晶片的方法中，在具有第一对准键的第一晶片上布置具有第二对准键的第二晶片。通过穿过所述第二晶片形成对准孔，以暴露所述第二对准键和所述第一对准键。通过所述对准孔使所述第一对准键和所述第二对准键彼此对准，来将所述第一晶片和所述第二晶片彼此对准。因此，通过所述对准孔暴露的所述第一对准键和所述第二对准键可以被定位在同一条垂直线上，以使所述第一晶片与所述第二晶片精确对准。