判断起辉状态的方法和装置、气相沉积方法和设备

摘要

本发明提供了一种判断工艺腔室内等离子体起辉状态的方法，所述工艺腔室包括阻抗匹配单元，所述方法包括：获取所述阻抗匹配单元的实时阻抗参数；判断获取到的实时阻抗参数是否在预设阻抗参数范围内，且持续预定时间，若是，判定起辉失败；若否，判定起辉成功。本发明还提供了一种增强化学气相沉积方法、一种判断工艺腔室内等离子体起辉状态的装置和一种增强化学气相沉积设备，所述判断工艺腔室内等离子体起辉状态的方法能够更加便捷有效地判断起辉状态、降低设备成本。