用于极紫外(EUV)辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法

摘要

揭露了一种用于极紫外(EUV)辐射源的数据匹配模块控制反馈系统的方法。方法包括获得狭缝整合能量(SLIE)感测器数据及绕射光学元件(DOE)数据。方法通过数据匹配模块执行SLIE感测器数据及DOE数据的时间差的数据匹配，以识别SLIE感测器数据及DOE数据的不匹配集合。方法亦决定不匹配集合的SLIE感测器数据及DOE数据的时间差是否在可接受的范围内。基于此决定，方法自动地验证不匹配集合的可配置数据，使得不匹配集合的SLIE感测器数据对反射率计算有效。