一种CIGS下电极用铝合金复合靶材及CIGS薄膜太阳能电池的制备方法

摘要

本发明涉及一种CIGS下电极用铝合金复合靶材及CIGS薄膜太阳能电池的制备方法，采用低成本的热压方式来制造此靶材，设备成本较低，由于材料温度较低且延展性较佳,同一批次可以多片同时热压，提高靶材的产率。本发明的铝合金复合靶材应用于CIGS电池的下电极膜层镀膜，由于原料成本较低且度率高，因此能降低溅镀膜层成本。随着靶材中钠钾含量的提高，在后制程中能提供较多的Na/K元素扩散至CIGS吸收层，提高载流子浓度及能填补缺陷提高组件开路电压，有利于转换效率的提高。在相同的效率要求下，也可以降低膜层的厚度，有利于提高设备的产率，降低设备成本并满足了大规模量产的要求。