CIGS薄膜太阳能电池靶材的应用及制备

摘要

随着铜铟镓硒(CuInxGa1-xSe2,CIGS)薄膜太阳能电池突飞猛进的发展,铜铟镓硒溅射靶材的需求越来越多。本文介绍了靶材的发展概况、应用情况以及靶材的特性要求,探讨了铜铟镓硒靶材的制备工艺,结果表明,产品能满足靶材特性要求。