一种光刻投影物镜内部腔室高精度气体测量装置

摘要

一种光刻投影物镜内部腔室高精度气体测量装置属于光刻投影物镜控制领域，实现对光刻投影物镜内部腔室高精度气体的压力和温度的检测。本发明包括温度传感器、相对压力传感器、绝对压力传感器、分气块、安全阀、电平转换电路和VCR气体接头；多个温度传感器分布在光刻投影物镜内部，光刻投影物镜采气口通过传输管路与分气块的进气口连接，分气块的三个出气口分别与相对压力传感器、绝对压力传感器和安全阀连接，安全阀出气端通过气管与VCR气体接头连接；电平转换电路将温度传感器、相对压力传感器和绝对压力传感器采集到的模拟信号转化为数字信号，并将数字信号传输到环境控制机箱。