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毕丹丹; 张立超; 时光;
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心;
中国科学院大学;
长春国科精密光学技术有限公司;
浸没式光刻; 光学薄膜; 膜系设计; 环境适应性; 激光辐照寿命;
机译:缩小浸没式磁性透镜,用于无交叉投影电子投影光刻
机译:模拟偏振相关杂散光的光学投影,以探索干法和浸没式光刻之间的区别
机译:浸没式光刻微物镜
机译:用于浸没式光刻的水性和有机液体的折射率和吸收率。
机译:基于CCD图像分析的线性比例投影光刻光刻对准方法
机译:使用浸没式光刻和石墨外延定向自组装在7-nm节点中通过构图
机译:1993年达拉斯大坝延伸长度浸没式棒材筛网和超长度浸没式行走筛网的成像污染行为
机译:用于浸没式光刻的晶片扫描仪中的折反射投影透镜,具有带有浸没透镜组的折射物镜部分,该浸没透镜组由折射率大于特定值的光学高折射率材料制成
机译:浸没式光刻投影物镜
机译:投影物镜的浸没式光刻
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