基于飞秒脉冲激光沉积生长微纳米结构薄膜的方法及装置

摘要

本发明涉及一种基于飞秒脉冲激光沉积生长周期性阵列微纳米结构薄膜的方法及其装置。该方法采用传统激光沉积技术，在激光沉积系统中的真空腔内增加掩膜过滤，得周期性阵列结构薄膜，再将薄膜经后期浸泡处理，即得周期性阵列微纳米结构薄膜。本发明实现该方法的装置包括飞秒激光系统、光学快门，衰减器，1/2波片、偏振器，透镜及真空泵，激光沉积系统中真空腔、靶材及基片、掩模，装置外部装浸泡液的容器等。实现本发明的装置结构简单，稳定可靠，对环境污染小；通过调节基片温度可改变薄膜的结晶特性，可制备出多种晶体结构的周期性阵列微纳米结构薄膜。