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FEMTOSECOND LASER BASED METHOD FOR FABRICATION OF MICRO- AND NANO-CONSTRICTION TYPE STRUCTURES ON A YBA2-CU3O7-X SUPERCONDUCTING THIN FILM

机译:基于飞秒激光的yba2-Cu3O7-x超导薄膜的微氮和纳米收缩型结构的制造方法

摘要

A method of manufacturing micro- and nano-constriction type structures on a YBCO thin film, the method including ablating a predefined pattern onto the thin film by means of a femtosecond laser, and a superconductor device which includes a YBCO thin film onto which a predefined pattern is ablated by means of a femtosecond laser.
机译:一种在YBCO薄膜上制造微型和纳米收缩型结构的方法,该方法包括借助于飞秒激光器烧蚀薄膜上的预定图案,以及包括ybco薄膜的超导体装置,该薄膜是预定义的通过飞秒激光器烧蚀图案。

著录项

  • 公开/公告号EP3485507B1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-03-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 UNISA;

    申请/专利号EP20170769552

  • 申请日2017-03-23

  • 分类号H01L39/22;H01L39/24;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-24 17:29:02

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