一种基于仿真技术的半导体器件TDDB失效测试方法

摘要

本发明属于失效测试技术领域，涉及一种基于仿真技术的半导体器件TDDB失效测试方法。本发明利用计算机软件对半导体TDDB进行仿真计算与需要昂贵的测试设备、人员、先期测试准备以及测试本身的大量时间的物理试验测试相比，基于仿真技术的测试方法节省了大量的时间和成本。因此在最初的设计阶段，运用计算机仿真技术针对半导体器件TDDB现象进行失效仿真分析，找出其设计中的薄弱环节，对于提到晶体管的可靠性乃至整个半导体器件的可靠性都要重要意义。