蚀刻的硅结构、形成蚀刻的硅结构的方法及其应用

摘要

一种蚀刻硅的方法，所述方法包括以下步骤：用铜金属部分覆盖待蚀刻的材料的至少一个硅表面；和使至少一个表面暴露于含有氧化剂和氟化物离子的源的含水蚀刻组合物。