法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-07-28
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01L21/00 申请公布日:20140820 申请日:20140422
发明专利申请公布后的驳回
2014-09-17
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L21/00 申请日:20140422
实质审查的生效
2014-08-20
公开
公开
机译: 基于多孔硅密封气穴技术或微通道技术的低功耗硅热传感器和微流控设备
机译: 基于多孔气孔技术或微通道技术的低功耗硅热传感器和微流控设备
机译: “基于使用多孔硅密封气穴技术或微通道技术的低功率硅热传感器和微流体设备”