法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-09
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/768 申请公布日:20140212 申请日:20131107
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-06-11
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/768 申请日:20131107
实质审查的生效
2014-02-12
公开
公开
机译: 由组成低介电常数薄膜和具有该低介电常数薄膜的电子零件形成低介电常数薄膜的组成方法
机译: 用于形成具有低介电常数的二氧化硅基薄膜的涂料液,以及具有低介电常数的被覆薄膜的基材的涂料液
机译: 用于形成薄膜,绝缘具有低介电常数的薄膜的组合物,用于形成绝缘膜具有低介电常数的方法以及半导体装置