多量程CMOS MEMS电容式压力传感器芯片

摘要

本发明涉及一种多量程CMOS MEMS电容式压力传感器芯片，包括玻璃基座和硅基底，其特征是：在所述硅基底上设置第一压力传感器单元、第二压力传感器单元、第三压力传感器单元、第四压力传感器单元、第五压力传感器单元和第六压力传感器单元；所述第一压力传感器单元、第二压力传感器单元、第三压力传感器单元、第四压力传感器单元、第五压力传感器单元和第六压力传感器单元包括上电极、下电极和压力膜；所述第一压力传感器单元、第二压力传感器单元、第三压力传感器单元、第四压力传感器单元、第五压力传感器单元和第六压力传感器单元的下电极通过金属铝线合并连接。本发明采用多个不同尺寸的电容压力传感器单元实现多量程，灵敏度高，量程范围大。