控制测试头在XY平面内精确运动定位的机械手臂

摘要

本发明公开了一种控制测试头在XY平面内精确运动定位的机械手臂，由三节手臂连接组成，第一节手臂为沿Z轴直线运动的升降手臂，第二节手臂轴连接于所述第一节手臂，第三节手臂轴连接于所述第二节手臂，所述第二节手臂、所述第三节手臂为在XY平面内移动的回转手臂，所述第二节手臂、所述第三节手臂上分别安装有限位板，测试头安装在所述第三节手臂前端。本发明的优点是利用三节手臂来控制测试头在XY平面内的移动和翻转，以限制XY平面内的自由度的范围，第一节手臂沿Z轴直线运动，第二、三节手臂回转从而精确定位在XY平面内的运动位置，容易操作控制，定位精度高。