机译:集成了XYθ_(Z)表面编码器的表面电机驱动的平面运动平台,用于精确定位
Precision positioning; Planar motion stage; Surface motor; Surface encoder;
机译:集成了XYθ_(Z)表面编码器的表面电机驱动的平面运动平台,用于精确定位
机译:表面电机驱动的平面运动平台的改进
机译:使用表面编码器精确测量两轴位置和倾斜运动
机译:表面电机驱动的平面平台的高速定位
机译:开发用于真空环境的基于大位移挠曲的纳米精度XY定位平台。
机译:XY挠曲机构上用于谐波定位的谐波运动位置估计算法的设计开发和实现
机译:使用集成运动学误差模型预测光学自由曲面的超精密光栅铣削中的表面生成
机译:在pedrepective projection下确定无对应的刚性表面贴片的三维运动。 1.平面表面。 2.曲面