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感光性树脂组合物、以及使用了该组合物的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法和印刷线路板的制造方法

摘要

本发明涉及一种感光性树脂组合物,含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)敏化色素,其中,所述(A)粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元、基于(甲基)丙烯酸苄酯或(甲基)丙烯酸苄酯衍生物的结构单元,所述(B)光聚合性化合物包含具有1个烯属不饱和键的化合物,(D)敏化色素包含下述通式(1)所示的化合物。式(1)中,R1和R2各自独立地表示取代或未取代的苯基、噻吩基或呋喃基,R3表示碳原子数1~10的烷基、碳原子数1~10的烷氧基或碳原子数1~10的烷基酯基,a和b各自独立地表示0~2的整数,m表示0~5的整数。

著录项

  • 公开/公告号CN103543608A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-01-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日立化成工业株式会社;

    申请/专利号CN201310470387.2

  • 发明设计人 宫坂昌宏;村松有纪子;

    申请日2010-02-03

  • 分类号G03F7/027(20060101);G03F7/105(20060101);C08F2/50(20060101);C08F220/06(20060101);C08F257/02(20060101);C08F265/06(20060101);C09D4/06(20060101);G03F7/09(20060101);G03F7/00(20060101);H05K3/06(20060101);

  • 代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;

  • 代理人钟晶;於毓桢

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2024-02-19 21:48:50

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-11-30

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/027 申请公布日:20140129 申请日:20100203

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2014-03-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/027 申请日:20100203

    实质审查的生效

  • 2014-01-29

    公开

    公开

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