公开/公告号CN103543608A
专利类型发明专利
公开/公告日2014-01-29
原文格式PDF
申请/专利权人 日立化成工业株式会社;
申请/专利号CN201310470387.2
申请日2010-02-03
分类号G03F7/027(20060101);G03F7/105(20060101);C08F2/50(20060101);C08F220/06(20060101);C08F257/02(20060101);C08F265/06(20060101);C09D4/06(20060101);G03F7/09(20060101);G03F7/00(20060101);H05K3/06(20060101);
代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人钟晶;於毓桢
地址 日本东京都
入库时间 2024-02-19 21:48:50
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-30
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F7/027 申请公布日:20140129 申请日:20100203
发明专利申请公布后的视为撤回
2014-03-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/027 申请日:20100203
实质审查的生效
2014-01-29
公开
公开
机译: 感光性树脂组合物,使用该感光性树脂组合物的感光性树脂组合物,固化物的除去方法,印刷线路板的光学制造方法以及抗蚀剂图案的形成方法
机译: 感光性树脂组合物,感光性元件,抗蚀剂图案形成方法及使用该感光性树脂组合物的印刷线路板。
机译: 感光性树脂组合物以及使用该感光性树脂组合物的感光元件,形成方法的抗蚀剂图案的制造方法以及印刷线路板