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The photosensitive resin composition, and a photosensitive element using the same, a resist pattern manufacturing method of the forming method and printed wiring board

机译:感光性树脂组合物以及使用该感光性树脂组合物的感光元件,形成方法的抗蚀剂图案的制造方法以及印刷线路板

摘要

The present invention, there is provided a photosensitive resin composition containing binder polymer (A), (B) a photopolymerizable compound and (C) a photopolymerization initiator, (A) binder polymer, the (meth) acrylic acid a structural unit derived, and a structural unit derived from (meth) acrylic acid benzyl ester derivative or (meth) acrylic acid benzyl ester, the compound is (B) a photopolymerizable compound, represented by the following general formula (1) relates to a photosensitive resin composition comprising a. Represents a hydrogen atom or a methyl group independently, an integer of 1 to 48 each independently, a, equation (1), R 3 and 1, R 2 R is a and c b a, b and c The total number is 6-50. [Formula 1]
机译:本发明提供一种感光性树脂组合物,其包含粘合剂聚合物(A),(B)光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂,(A)粘合剂聚合物,(甲基)丙烯酸作为衍生的结构单元,以及由下述通式(1)表示的由(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物或(甲基)丙烯酸苄基酯构成的结构单元为(B)光聚合性化合物。式(1),R 3 和1, R 2 R 分别独立地表示氢原子或甲基,分别独立地为1〜48的整数。 cba,b和c的总数为6-50。 [公式1]

著录项

  • 公开/公告号JP5494645B2

    专利类型

  • 公开/公告日2014-05-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日立化成株式会社;

    申请/专利号JP20110501538

  • 发明设计人 宮坂 昌宏;村松 有紀子;

    申请日2010-02-02

  • 分类号G03F7/027;G03F7/033;G03F7/029;G03F7/004;H05K3/28;H05K3/18;H05K3/06;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 16:15:17

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