多孔硅与氧化钨纳米棒复合结构气敏传感器的制备方法

摘要

本发明公开了一种多孔硅与氧化钨纳米棒复合结构气敏传感器的制备方法，以多孔硅为基底复合一维氧化钨纳米棒，利用两种半导体材料间协同效应，使其在室温条件下对有毒有害的氮氧化物气体能够快速检测。该方法具有设备简单、操作方便、工艺参数易于控制、成本低的优点，具有重要的实践与研究意义。