一种用于激光等离子体极紫外光源的空腔液体锡靶发生器

摘要

本发明公开了一种用于激光等离子体极紫外光源的空腔液体锡靶发生器，包括高压腔体、电加热器、热电阻、振杆、气源控制器、压力变送器、喷嘴、冷却风机和冷却水套；电加热器用于使腔体内的固态锡材融化成为液态，通过两端具有压强差的空腔环形结构喷嘴射出形成空心液滴或者空心柱状液滴流。提空腔环状的喷嘴所包含的辐射所需EUV光子能量的原子数目是最多的，并且吸收效率高；气源控制器和压力变送器所构成的加压系统用来给储液容器加高压；通过将靶室内抽真空，并充入氢气或氩气，以减少对EUV的吸收和降低高温高压的等离子体对收集镜的损害。本发明喷射距离远，对激光吸收效率和EUV转换效率较高，系统稳定性好，成本低廉，更适合工业上大规模生产。