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目录
1 绪言
1.1 研究背景
1.2 国内外研究现状
1.3 研究目的及方法
1.4 本文内容
2 液滴锡靶发生器的理论分析
2.1 极紫外锡靶的理论基础
2.2 射流断裂理论
2.3 数值模拟的方法
2.4 理论与实验的关系
2.5 本章小结
3 液滴锡靶的模拟仿真
3.1 数值模拟的思路
3.2 建立仿真模型
3.3 验证仿真模型
3.4 仿真的一些结果
3.5 本章小结
4 液滴锡靶发生器的实验研究
4.1 实验装置构建
4.2 主要器件的选型与测试
4.3 液滴锡靶发生器的调试
4.4 本章小结
5 总结
5.1 目前结果的分析
5.2 未来改进的建议
致谢
参考文献