液体ターゲットを用いたレーザー生成プラズマ方式極端紫外光源

摘要

本稿では，宮崎大学で行われているレーザー生成プラズマ方式極端紫外光源に使用している液体ターゲットの開発状況および金属液体ターゲット，金属混入水溶液ターゲットからの極端紫外光の諸特性について述べた．酸化錫ナノ粒子を使用することにより，問題視されているミクロンサイズのデブリ発生を抑制すると同時に，二重パルス法によるプラズマの能動的制御によるEUV光変換効率は1％以上にできることを示した．