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公开/公告号CN103235487B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-10-28
原文格式PDF
申请/专利权人 华中科技大学;
申请/专利号CN201310103346.X
发明设计人 杨若琪;王新兵;左都罗;卢宏;陆培祥;
申请日2013-03-28
分类号
代理机构华中科技大学专利中心;
代理人曹葆青
地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
入库时间 2022-08-23 09:30:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-10-28
授权
2013-09-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20130328
实质审查的生效
2013-08-07
公开
机译: 具有高脉冲率的激光-等离子体极紫外-光源的液滴靶的生产方法。
机译: 高脉率激光等离子极紫外光源的液滴靶传递方法
机译:带有液滴靶的激光产生的锡等离子体碎屑的EUV光源成像诊断
机译:使用液体靶的激光产生等离子体型极紫外光源
机译:提供包含微粒的液滴作为激光等离子体靶,可发出极紫外光
机译:液滴靶的高重复频率激光等离子体极紫外光源的动力学
机译:强烈的毛细管放电等离子体极紫外光源,用于极紫外光刻和其他极紫外成像应用。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:激光产生的极紫外辐射等离子体源的分布式锡靶的RZLINE代码建模(vol 11,021112,2012)
机译:激光诱导液滴爆炸产生的H,Li和Na的等离子体光谱研究