使用干膜光致抗蚀剂在管芯顶部上沉积荧光剂

摘要

本发明涉及使用干膜光致抗蚀剂在管芯顶部上沉积荧光剂。一种用于在多个LED管芯上沉积一层含有荧光剂的材料的方法包括，在胶带上布置具有多个开口的模板，以及在模板的多个开口中的一个开口中布置多个LED管芯中的每个LED管芯。该方法还包括在模板和多个LED管芯上布置图案化的干膜光致抗蚀剂。光致抗蚀剂层具有多个开口，该多个开口被配置成露出各个LED管芯的上表面。然后，含有荧光剂的材料被布置在各个LED管芯的露出的上表面上。该方法还包括去除光致抗蚀剂层和模板。