一种测量和表征MOS晶体管器件失配特性的方法及系统

摘要

本发明公开了一种测量和表征MOS器件失配特性的系统及方法，用于测量和表征MOS器件阵列中各尺寸MOS器件的失配特性。所述系统包括MOS器件阵列模块，地址模块、测试模块、计算转换模块、控制模块等，可计算得到MOS器件阵列中相同尺寸的MOS器件的电学参数的标准偏差，用以表征所述MOS器件阵列中该尺寸MOS器件的失配特性。本发明充分利用MOS器件阵列结构真正实现了在有限的局部区域内表征相同尺寸的器件之间的失配特性，而且利用地址译码电路极大地减少了测试所需的引脚数目，节省了测试芯片的面积，更无需进行大量计算，极大提升了工作效率。