制造硅基增强红外吸收光电探测器的方法及其光电探测器

摘要

本发明实施例公开了一种制造硅基增强红外吸收光电探测器的方法，包括：提供硅衬底材料；在硅衬底材料上形成周期性槽状结构，获得红外吸收增强层；在红外吸收增强层上形成势垒增强层；在势垒增强层上形成电极层。本发明的实施例中，红外吸收增强层包括周期性槽状结构，可以有效提高红外波段吸收，并且在电极与吸收增强层之间增加了势垒增强层，可以有效增加势垒层高度，从而降低暗电流以及抑制噪声。