公开/公告号CN102969216A
专利类型发明专利
公开/公告日2013-03-13
原文格式PDF
申请/专利权人 上海宏力半导体制造有限公司;
申请/专利号CN201210507096.1
申请日2012-11-30
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人郑玮
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号
入库时间 2024-02-19 17:37:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-03-06
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01J37/32 申请公布日:20130313 申请日:20121130
发明专利申请公布后的驳回
2014-11-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20121130
实质审查的生效
2014-06-04
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01J37/32 变更前: 变更后: 登记生效日:20140509 申请日:20121130
专利申请权、专利权的转移
2013-03-13
公开
公开
机译: 用于检测蚀刻终点的窗口和具有该窗口的蚀刻设备
机译: 用于检测蚀刻过程的终点的窗口以及包括该窗口的蚀刻装置
机译: 用于检测蚀刻终点的窗口和具有该窗口的蚀刻设备