一种新型的复合透明导电氧化物薄膜

摘要

本发明涉及一种新型的复合透明导电氧化物薄膜，属于光电器件制备技术领域，尤其适用于薄膜太阳能电池技术。技术方案是：包括至少一层低压化学气相沉积或者金属有机物化学气相沉积方法制备的具有绒面结构的本征氧化锌薄膜或掺杂氧化锌薄膜和至少一层掺杂的透明导电氧化物薄膜，构成复合透明导电氧化物薄膜。本发明的积极效果：制备的新型复合透明导电氧化物薄膜作为电极应用于光电器件中，减少光电器件的界面缺陷，提高器件的性能。