一种磁光调制椭偏仪装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种磁光调制椭偏仪装置及测量方法，包括由光源发出的非偏振光，通过固定第一起偏器，变为线偏振光；通过第一磁光调制器，线偏振光被调制；通过固定第二起偏器，出射光变为线偏振光；通过第二磁光调制器，线偏振光被调制；经过待测样品反射，反射光进入第三磁光调制器被调制；然后通过固定检偏器，线偏振光进入光电探测器，记录含有样品薄膜的椭偏参数的光强，采用拟合算法对数据进行处理，精确测量样品薄膜的厚度和光学常数；本发明有效解决了现有方法中采用步进电机机械转动旋转偏振器，测量精度、测量重复性和稳定性均有限的问题，提高了测量速度，检测精度、灵敏度和测量装置的可靠性。