公开/公告号CN110484896A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-22
原文格式PDF
申请/专利权人 西安唐晶量子科技有限公司;
申请/专利号CN201910836752.4
申请日2019-09-05
分类号C23C16/455(20060101);C23C16/52(20060101);H01S5/183(20060101);
代理机构
代理人
地址 710119 陕西省西安市高新区上林苑一路15号B栋一层B-104室
入库时间 2024-02-19 15:44:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-17
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/455 申请日:20190905
实质审查的生效
2019-11-22
公开
公开
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