MEMS传感器、MEMS传感器系统及其制造方法

摘要

本公开涉及MEMS传感器，包括传感器壳体和布置在传感器壳体中的膜，其中传感器壳体的第一子容积与膜的第一主侧面相邻，并且传感器壳体的第二子容积与膜的第二主侧面相邻，其中第二主侧面与第一主侧面相对地布置。该MEMS传感器包括传感器壳体中的第一开口，该第一开口将第一子容积与传感器壳体的外部环境透声地连接。该MEMS传感器包括传感器壳体中的第二开口，该第二开口将第二子容积与传感器壳体的外部环境透声地连接。