法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20180302
实质审查的生效
2019-10-29
公开
公开
机译: 形成图案的方法,以及制造加工后的基板,光学部件和石英模具复制品的方法,以及一组压印预处理涂料和压印抗蚀剂
机译: 图案形成方法,加工后的基板的制造方法,光学部件和石英模具复制品,压印前处理涂料及其组和压印抗蚀剂
机译: 固化材料图案形成方法,加工基板制造方法,光学元件制造方法,电路板制造方法,电子元件制造方法,压印模具制造方法和压印预处理涂料